在生产半导体元器件、锂电池、电芯等产品的时候，需要经过高温烘烤，在这一步骤中，防氧化真空烘箱将被加热至所需温度，通常在200℃~400℃之间。通过供烤，可以去除设备内部和材料表面的湿气以及其他杂质，为接下来的生产制造做准备。你有没有想过，为什么要用防氧化真空烘箱而不是普通的高温箱呢？下面，小编就为大家解开这个疑问。

防氧化真空烘箱是将涂敷bcb或pi的衬底放入真空无氧烘箱中，通入n2→真空置换后，采用多级升温保温的方式，在规定的时间从室温升至第一温度阶段，并在该温度段保温1-2h，再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段，并在该温度段保温一定的时间；随后增通过辅助的降温系统（水冷和风冷），将退火炉的温度降至80度左右，完成固化。

在高温下，材料或样品容易与氧气发生反应并氧化，造成品质损失或性能下降。通过向干燥箱或烘箱中充入氮气，可以降低氧气浓度，减少氧化反应的发生。

防氧化真空烘箱充氮气进入后，能防止试件表面因为高温加热后发生氧化变色。 常规烘箱（电热恒温鼓风干燥箱或热风循环烘箱）经过高温加热鼓风循环后，有些易氧化的试件表面会大面积发生氧化，充入惰性气体后能一定程度改善此类问题。

防氧化真空烘箱技术指标：